학과소식

김택수 교수 연구팀, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology의 Manufacturing 부문에서 2020 Best Paper Award 수상

관리자 2021.05.07

<왼쪽부터. 이상민 박사, 김택수 교수>

김택수 교수 연구팀이 IEEE Transcations on Componets, Packaging and Manufacturing Technology에 게재한 “Effects of Thickness and Crystallographic Orientation on Tensile Properties of Thinned Silicon Wafers” 논문이 Manufacturing 부문에서 2020 Best Paper Award를 수상하였습니다. 본교 기계기술연구소 연수연구원으로 재직 중인 이상민 박사(지도교수: 김택수)가 제1저자, 김택수 교수가 교신저자로 참여한 이 논문은 반도체의 3D integration에 필수 재료인 박막화된 실리콘 웨이퍼의 인장 물성에 두께와 결정 방향이 미치는 영향에 대해 보고하였습니다.