Nano Fabrication Technology for New Applications

일시: 2017년 2월 7일 (화) 16시 00분 ~ 17시 00분
장소: C2 세미나실 (중앙관 3231호)
연사: 임 근배 교수 (포항공과대학 기계공학과)

Abstract :

반도체 기술이 발전함에 따라 새로운 응용분야인 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 분야가 90년초반부터 각광을 받았다. 원리적인 측면으로 보면 소자/시스템이 작아질수록 성능이 개선되는 물리적 특성을 이용하는 경우가 많아서, MEMS는 새로운 학문분야로 까지 자리매김을 하게 되었다. 반면, 소자 하나하나의 공통점 (Hardware Platform)이 크지 않아 R&D 비용/기간 대비 기업의 수익성이 높지를 못하여 제품화까지 발전한 예는 매우 적으며 RF 혹은 Bio 관련 분야에 국한적으로 사용이 되어 졌다. MEMS 기술의 바이오 분야 적용은 점점 넓어지고 있으며, 기술적 필요에 의해 2000년 초반 부터는 Nano기술을 접목 본격적으로 접목하기 시작하였다. Nano분야는 마이크로 와는 또 다른 물리적 특성을 나타내며 이러한 특성을 이용하면 기존의 마크로-세계에서는 전혀 불가능하였던 여러가지 원리추구 및 제품개발이 가능하다. 제작시간 및 원가도 줄일 수 있는 경우가 많아 새로운 시장의 가능성도 보여주고 있다. 본 강의에서는 이러한 원리 및 특성을 추구하기 위하여 시도된 Nano-Fabrication 의 예를 소개하고 타 기술에의 접목 가능성에 대하여 토론할 예정이다.

As semiconductor technology advances, Miceoelectromechanical System (MEMS) technology has drawn attention in the early 90s. Basically MEMS uses the scale effect that performance can be improved as device size become smaller, it has become new leading technology. However, hardware platform can hardly be commercialized and integrated into other technology because it varies according to its application. Only bio-application field using MEMS technology has been greatly expanded so far. Nanotechnology has gotten a spotlight in the early 2000s. It shows many unique characteristics/phenomena; it enables us to pursue new principle and to make new devices that were impossible in the macro world. In this presentation I will introduce new nano-fabrication technology for bio applications.

Speaker : 임근배 교수 (Prof. Geunbae Lim)
– Ph.D., Tohoku University (1996)
– Project Manager, Samsung Advanced Institute of Technology (1996-2004)
– Assistant, Associate, Full Professor, POSTECH (2004-Present)

문의 : 기계공학과 박인규 교수 (Tel: 3240)

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